Horiba汽化器MV-2000 液體轉(zhuǎn)氣體流量計(jì)采用新的螺旋流加熱方法，即使在低溫下也能實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定汽化。適用于包含 “High-k”工藝液體在內(nèi)的一系列液體源的汽化。可實(shí)現(xiàn)高沸點(diǎn)液體的穩(wěn)定汽化。$n$n· 氣液混合物汽化方法確保穩(wěn)定地汽化高沸點(diǎn)液體$n$n· 氣液混合部分溫度可到MAX140℃$n$n· 蒸發(fā)區(qū)汽化溫度MAX 200℃

Horiba直接注入式汽化器VC-1420能夠在無(wú)載氣的情況下快速汽化純水或其他液體源，組建更緊湊的汽化系統(tǒng)。 在測(cè)試工藝過(guò)程中控制氣體比例和濕度平衡相當(dāng)困難，可以通過(guò)以下產(chǎn)品達(dá)到準(zhǔn)確的氣體平衡和氣體濕度：氣體 MFC（SEC-Z512MGX、N112MGX、）、液體 MFM（LF-F20M-A）、汽化器（MV-2000）。