Horiba氣體質(zhì)量流量計(jì)SEC-N172R/SEC-N176R特點(diǎn)： 通訊模式：數(shù)字式、模擬式； 滿(mǎn)量程范圍 ：0-300SLM , 可選0-500SLM，0-1000SLM； 模擬輸出、數(shù)字通訊二選一。

Horiba自動(dòng)壓力控制器R600基本特點(diǎn)： 1、控制類(lèi)型：背壓控制 2、壓力范圍：300kpa 3、閥門(mén)類(lèi)型: 電磁閥（常閉） 4、輸出：模擬0-5V或者數(shù)字RS485

Horiba質(zhì)量流量計(jì)SEC-8000系列特點(diǎn)： 高精度±1.0%設(shè)定點(diǎn) 高速響應(yīng) 超潔凈設(shè)計(jì) 符合RoHS標(biāo)準(zhǔn)

SEC-Z500X系列 Horiba質(zhì)量流量計(jì)高精度±1.0%設(shè)定點(diǎn)。該質(zhì)量流量控制器的線(xiàn)性度由多項(xiàng)式近似曲線(xiàn)補(bǔ)償，并實(shí)現(xiàn)在所有流量控制范圍內(nèi)的高精度。為提高實(shí)際氣體精度，不同工藝氣體的標(biāo)定數(shù)據(jù)由HORIBA STEC公司的標(biāo)準(zhǔn)氣體測(cè)量系統(tǒng)測(cè)量。 高速響應(yīng)：裝配“可變PID系統(tǒng)”，可在任意兩個(gè)設(shè)定點(diǎn)之間實(shí)現(xiàn)1秒響應(yīng)。可變PID根據(jù)流量點(diǎn)設(shè)置不斷變化。

horiba流量計(jì)SEC-Z700S可以直接測(cè)量管道內(nèi)流體的質(zhì)量流量，測(cè)量精度為0.2級(jí)，流體測(cè)量管內(nèi)部無(wú)障礙物和活動(dòng)部件，因而可靠性高、壽命長(zhǎng)。

Horiba SEC-Z700質(zhì)量流量計(jì)SEC-Z714MGX-CS屬于高性能數(shù)字式質(zhì)量流量控制器，是半導(dǎo)體中設(shè)備CVD機(jī)臺(tái)、Etch機(jī)臺(tái)中的氣體控制核心部件

Horiba質(zhì)量流量計(jì)D500系列具有壓力非敏感性，自帶顯示功能，控制范圍廣，可應(yīng)對(duì)多種氣體、多種量程、不同壓力條件，適用于高精工藝需求。