horiba高精度氣體質(zhì)量流量計Z512$n$n小量程0-2sccm，大量程0-50SLM$n高精度：±1.0% S.P. (25-100% F.S.); ±0.25% F.S. (≤25% F.S.)$n模擬信號輸出：0-5VDC，可選數(shù)字通訊RS485 F-Net協(xié)議

數(shù)字式氣體質(zhì)量流量計SEC-Z512MGX、Z522MGX多用于進口設(shè)備的PEVCVD、MOCVD中，我公司提供進口Z514、Z524，保修期1年。

horiba高精度氣體質(zhì)量流量計SEC-Z514MGX/Z524MGX$n小量程0-2sccm，大量程0-50SLM$n高精度：1.0% S.P. (25-100% F.S.);0.25% F.S. (≤25% F.S.)$n數(shù)字通訊：DeviceNet

GR312F、GR314F、GR317F、GR511F、GR-224FD Horiba 壓力控制器GR-312F GR-314F GR-317F是GR-300系列中的暢銷產(chǎn)品，實現(xiàn)晶圓背面氣體的壓力控制器，該氣體用于冷卻晶圓表面溫度。 常用氣體是氦氣和氬氣。 GR312F壓力控制器是0-5V或者RS485通訊，可以選擇GR317F，實現(xiàn)EtherCAT通訊。

晶圓背部壓力控制器Horiba GR-511F GR312F，熱門型號是GR-511F，又稱壓力自動調(diào)節(jié)閥， 用于半導(dǎo)體晶圓生產(chǎn)中晶圓背面壓力的控制器，實現(xiàn)冷卻系統(tǒng)的冷卻功能。

UR-Z722M-B是horiba數(shù)字式壓力控制器UR-Z700中的暢銷款，控制該壓力控制器前端的壓力。 控制壓力范圍0.02M-Bar-9.5M-Bar， 數(shù)字通訊 消除大流量氣路切換引起的串?dāng)_影響（出口控制型）

horiba高品質(zhì)數(shù)字式質(zhì)量流量計SEC-Z512、Z522、Z524多用于進口設(shè)備的PEVCVD、MOCVD中，我公司提供進口Z514、Z524，保修期1年。

Horiba質(zhì)量流量控制器SEC-N100系列特點：$n1、直接測量管道內(nèi)流體的質(zhì)量流量$n2、工作穩(wěn)定可靠$n3、適應(yīng)的流體介質(zhì)面寬$n4、廣泛的應(yīng)用環(huán)境$n5、多種實時在線測控功能$n6、可擴展性好

Horiba質(zhì)量流量計 SEC-E40V SEC-E40V是國產(chǎn)化的SEC-E40, 進口核心部件，國內(nèi)組裝 具備自動調(diào)零功能 高精度 高速響應(yīng) 配備應(yīng)對各種用途的機型

氣體質(zhì)量流量計SEC-Z512MGX 1SLM 4CRL，是horiba SEC-Z512的暢銷型號，多用于進口設(shè)備的PEVCVD、MOCVD中。 我公司提供進口SEC-Z512MGX、SEC-514MGX、SEC-Z522MGXN、SEC-Z522MGXN，保修期1年。